ウェーハ加工（スライス工程）

単結晶インゴットは直径が均一になるよう外周研削されたのち、所望される抵抗率の範囲で内周刃切断機かワイヤーソーを用いて厚さ１ｍｍ程度にスライスして、ウェーハ状にします。

ワイヤーソー