ウェーハ加工（研磨工程）

ウェーハ表面の凹凸を無くし、平坦度の高い鏡面仕上げを行うため、コロイダルシリカ液を用いてメカノケミカル研磨が施されます。
研磨装置	研磨装置　構造図