次世代ウェーハ開発への挑戦

450mmウェーハは非常に変形しやすく、振動しやすく、また一層割れやすくなるので、これらを考慮して製造装置やプロセス、輸送方法が設計されなければなりません。また、厚さを含むウェーハ仕様の決定には、さまざまな技術を考慮して、ウェーハメーカーのみならず、デバイスメーカー、装置メーカーを含めた業界全体での討論と議論が不可欠であると考えます。