太陽電池用シリコンウェーハ
SUMCOは、高品質の多結晶シリコン・インゴットを安定して生産できる、電磁キャスト法を開発。世界に誇る独創技術です。
1．原料シリコン
イレブン・ナイン（純度99.999999999%）という高純度な原料シリコンを用いています。
2．電磁キャスト法
電磁キャスト法により高品質の角型シリコン・インゴットを成長させます。
原料シリコンは、誘導コイルを用いた高周波誘導加熱によって溶融されます。高周波誘導加熱とは、IHヒーターと同じ原理で、対象物に電流を誘発させて加熱する方式です。誘導コイルで発生する電磁力は、溶融したシリコンに中心方向へ向かう力も与えるため、シリコン融液はルツボに触れることがなく、高い純度を保つことができます。ゆっくりとインゴットを引き下げることにより、シリコン融液は徐々に冷却され、結晶化します。
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3．角形多結晶シリコン・インゴット
電磁キャスト法により製造されたインゴットは長さ7,000mmという世界最大の太陽電池用シリコン結晶です。
4．マルチ・ワイヤーソー
4本のシリコンブロックを同時に切断できるマルチ・ワイヤーソーにより、業界最先端のウェーハ品質と高い生産性を実現しています。
5. 洗浄
スライス後のウェーハを、粗洗浄、仕上げ洗浄の2 段階で丁寧に洗浄します。
6. 検査
お客様の厳しい要求規格を保証するため、製品ウェーハは熟練した専門の検査員により全数検査され、梱包・出荷されます。
「電磁キャスト法」とは、ルツボ内のシリコン原料を高周波誘導により加熱溶解するとともに、強い電磁力の作用でシリコン融液を浮遊させ、連続的にインゴットを成長させるプロセスです。シリコン融液はルツボに触れることがなく、高品質のシリコン・インゴットが成長可能です。これは世界に誇る、当社の独創技術です。
電磁キャスト法で生産されたシリコンウェーハの特長
- 連続鋳造プロセスにより、鋳造方向に対して品質の均一性が高くなります。
- ウェーハの割れ率が小さいため、省原料化につながる薄厚化を実現できます。
- 変換効率のバラツキが小さく、安定した性能品質を提供できます。
このような優れた特長をもつSUMCOのシリコンウェーハは、お客様に「使いやすいウェーハ」と高くご評価いただいています。
