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韓国・漢陽大学のデバイス系研究室に留学。
デバイス側からシリコンウェーハに求められる品質を学んだ。

エピ技術部
伊万里エピ技術課
竹村 泰隆 大学院工学研究科 物質化学専攻修了 2010年度入社

※ 所属部署、掲載内容は取材当時のものです。

竹村は入社3年目から3年間、韓国の大学に留学。
半導体デバイスといういわば顧客側の製品を研究テーマとし、
シリコンウェーハという自社の製品を一歩引いた立ち位置で見た経験は大きい。

学生時代に半導体デバイスのリソグラフィーに使う、レジストという材料の研究をしていたこともあり、半導体業界、中でも材料メーカーを中心に、規模や社風を考えて就職活動をしていました。 SUMCOには、世界一のシリコンウェーハメーカーを目指す精神と技術開発設備がある点に惹かれて入社を決めました。

韓国への留学で次世代メモリの研究に携わる

最初の配属は、地元北海道の千歳工場で、エピタキシャルウェーハの製造技術を研究する部門でした。
そしてここでの経験を踏まえて、2012年から3年間、韓国・漢陽大学に留学しました。
留学先は半導体デバイスの分野では韓国でも有数の研究室で、最新の設備と環境で思う存分研究に取り組むことができました。ここでの研究テーマは、現在主流のDRAMに代わるメモリとして期待されているMRAMでした。会社とは違った研究を通して、デバイスの面からシリコンウェーハに要求される品質などを考える機会ができ、今後の業務にも活用できるいい経験になったと感じています。研究室には、SUMCOとも取引のある半導体メーカーに将来就職するはずの学生が多く在籍しており、同じ環境で過ごしながら交流を深め、人脈をつくることもできました。

幅広い学びの場が用意されているSUMCO

異なる文化と接することで、日本の文化との違いや、その長所や短所を客観的に捉えることができたことも、とてもいい経験でした。SUMCOでは海外のメーカーとの取引が多いため、今後海外メーカーとのやり取りをすることになった時に、役立てたいと思います。
私が入社3年目で海外留学に行ったように、SUMCOでは若いうちから、将来必要になる能力を育てる制度があり、その経験を活かす業務に就けることでモチベーションを更に高めてくれます。

エピタキシャル工程のコスト削減、生産性向上が現在のテーマ

2016年に留学先から帰国し、留学前と同じエピタキシャル工程ですが、北海道から九州に移って、伊万里エピ技術課に配属されました。現在はここで、エピタキシャル工程のコスト削減、生産性向上、デバイスの高精度化に対応したエピタキシャルウェーハの品質向上をテーマに研究を続けています。
例えばコスト削減テーマでは、処理時間を短縮するにはどうすればいいかといった研究や、エピタキシャル炉内でシリコンウェーハを載せるサセプターという部材を、より耐久性のあるものに換えるといったプロセス改善などを行います。また、BCP(事業継続計画)の観点で部材マルチベンダー化を進めたりすることも、私の部署の仕事です。
現場でトラブルが起きたり、お客様からの品質問題対応が入ったりした時などは忙しくなります。最近はお客様である半導体デバイスメーカーで微細化が進んでいるため、これまで問題にならなかったプロセスが新たなネックになることもあります。ですから、コスト削減のための変更が品質面に影響を与えないよう、その面でも十分な注意が必要です。

提案が実際の製造ラインで採用される喜び

うれしいのは、新しい部材を提案して、製造ラインで実際に使ってうまくいった時。コスト削減や生産性向上などのテーマは、改善提案の成果が目に見える数字で表れるのでやりがいがあります。
SUMCOは、海外売上高比率が約8割に上るグローバル企業です。そのため、希望すれば海外で経験を積む機会もあり、その経験を活かす場も用意されています。私も韓国での経験を活かし、SUMCOにしかつくれないシリコンウェーハの開発に関わり、製品化することを目指します。



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