「SENIOR INTERVIEW」 ウェーハ技術部ウェーハ開発課 2010年入社 田中 利幸 TOSHIYUKI TANAKA SUMCOの技術をさらなる高みへ。ナノ単位の精度への挑戦。

入社の決め手

大学では熱工学を専攻し、液体の熱伝導率の測定を検証したり、センサーを使って分析していました。こうした大学の専攻分野とは少し違うことをやってみたいなと思ったのが会社選びのポイントでした。SUMCOはものづくりの現場と開発部署の距離が近いのが魅力です。製造現場と開発が離れている会社もありますが、SUMCOならではの近さで製造現場と開発部署のどちらも見てみたい、と思ったことがきっかけでした。

現在の仕事

シリコンウェーハの平坦度を上げる研削技術の開発に挑んでいます。このプロジェクトは私が主担当になって取り組んでいるもので、成功すれば、飛躍的な技術発展が可能になると思います。すでにSUMCOには300mmのウェーハを東京ドームのグラウンドサイズに引き伸ばしても高低差が0.1mm以下という非常に高い精度を誇る技術があります。シリコンウェーハから作製する半導体デバイスの微細化に伴い、数ナノレベルの平坦度が近い将来求められます。これまでにないレベルの高平坦度達成が私の仕事といえます。


仕事のやりがい

入社後1年半は製造現場で実習し、2年目の途中からウェーハ開発課に配属されました。いくつかのプロジェクトに携わったのち、3年目からはこの開発に臨んでいます。まだ誰も完成させたことのない技術ですから難しい部分はとても多いです。答えがすぐに見つかるというものでもありません。しかしそれだけにやりがいも大きいですね。SUMCOは社員同士の関係も良く、現場の人からもアドバイスをもらえるので、自分の考えを伝えたり、アドバイスをもらったりしながら新しい技術を必ず完成させたいと思います。


オフの過ごし方

子どもの頃から学校での実験がすごく好きでした。高校でも理系クラスに進みました。高校では陸上の短距離選手としていて、200メートルを中心に、全国高校総体に出場したり、九州大会で入賞したりしていました。私はSUMCOの工場がある伊万里市に近い唐津市が地元なのですが、オフの日は唐津のクラブチームに顔を出してトレーニングすることもあります。日々研究に没頭している分、走って体を動かすことで気分転換にもなりますし、また仕事への意欲も沸いてきます。

上司からのメッセージ

新技術開発に適任。支えるのは
柔軟な発想力と地道な努力。

1995年 橋本 精行 YASUYUKI HASIMOTO

田中君が取り組んでいるのは次世代の大口径シリコンウェーハのプロセス開発においてキーとなる部分です。この新技術の設計、開発をほぼ一人で担っています。サプライヤーや他部署とのやりとりをしながら慎重に進めていかなくてはなりませんが、1年目や2年目の働きぶりをみて信頼して彼に任せました。こうした新しい部分というのは柔軟な発想力も必要ですが、それだけではなく地道な調査や繰り返しの実験も求められます。田中君の場合はその両面の能力がとても秀でているなと感じています。粘り強くやれる人材ですから、開発の成功を期待しています。