シリコンウェーハの製造方法

最高水準の環境下で製造されるシリコンウェーハ

シリコンウェーハの製造は、主に3つの工程にわけられます。SUMCOでは、そのすべての工程を最高水準の清浄度を誇るクリーンルーム内で実施。厳密な品質管理のもとで超高純度・超高品質なシリコンウェーハの製造を実現しています。

珪石→還元→金属シリコン→精留反応→多結晶シリコン→1.単結晶引上工程→CZ法 MCZ法→単結晶インゴット→2.ウェーハ加工工程 切断→粗研磨→エッチング→研磨→検査→ポリッシュト・ウェーハ（PW）→3.特殊加工工程→アニール・ウェーハ、エピタキシャル・ウェーハ（EW）、埋込層付エピタキシャル・ウェーハ、SOIウェーハ 単結晶引上工程を詳しく見る ウェーハ加工工程を詳しく見る 特殊加工工程を詳しく見る